ПОЛИРОВАНИЕ ЭЛЕМЕНТОВ И ПОДЛОЖЕК ИЗ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ ДЛЯ ОПТОЭЛЕКТРОНИКИ

Юрий Данилович Филатов, Владимир Игоревич Сидорко, Александр Юрьевич Филатов, Сергей Викторович Ковалев, Анатолий Григорьевич Ветров, Ярослав Леонидович Сильченко, Виктор Андреевич Ковалев, Мария Андреевна Данильченко

Анотація


Приведены результаты исследования закономерностей полирования плоских поверхностей оптико-электронных элементов из монокристаллических карбида кремния и сапфира и показано, что в качестве критерия эффективности полирования целесообразно использовать коэффициенты шероховатости, определяющие минимально допустимые значения высотных параметров.

Ключові слова


полирование; шероховатость; монокристалл; карбид кремния; сапфир

Повний текст:

PDF (Русский)

Посилання


New technology of precision polishing of glass optic / V.V. Rogov, Y.D. Filatov, W.Kottler, V.P. Sobol // Optical Engineering. – Vol. 40, august 2001. – Рp. 1641–1645.

Поперенко Л.В. Технологія обробки оптичних поверхонь : навч. посібник / Л.В. Поперенко, Ю.Д. Філатов. – К. : Вид.-поліграф. центр «Київський університет», 2004. – 166 с.

Bound-abrasive grinding and polishing of surfaces of optical materials / Y.D. Filatov, O.Y. Filatov, G.Monteil et al. // Optical Engineering. – 2011.

Філатов Ю.Д. Моделювання процесів механічноїї обробки матеріалів : навч. посіб. / Ю.Д. Філатов. – К. : НТУУ «КПИ», 2012. – 176 с.

Properties of Silicon Carbide edited by Gary Lynn Harris // INSPEC, Institution of Electrical Engineers. – London, United Kingdom, 1995. – 289 p.

Закономерности финишной алмазно-абразивной обработки монокристаллического карбида кремния / Ю.Д. Филатов, А.Г. Ветров, В.И. Сидорко и др. // Сверхтвердые материалы. – 2013. – № 5. – С. 63–71.

Полирование элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния / Ю.Д. Филатов, А.Г. Ветров, В.И. Сидорко и др. // Сверхтв. материалы. – 2015. – № 1. – С. 63–71.

Filatov Yu.D. Mechanism of formation of surface microrelief in machining glass / Yu.D. Filatov // J. Superhard Mater. – 1991. – 13(5). – Pр. 63–67.

Филатов Ю.Д. Шероховатость поверхности при обработке стекла / Ю.Д. Филатов, В.В. Рогов, К.С. Громов // Сверхтвердые материалы. – 1993. – № 4. – С. 42–46.

Chemical mechanical polishing (CMP) anisotropy in sapphire / Н.Zhu, L.A. Tessaroto, R.Sabia at oll. // Applied Surface Science. – 2004. – Vol. 236. – Issue 1–4. – Pp. 120–130.