ПОЛИРОВАНИЕ ЭЛЕМЕНТОВ И ПОДЛОЖЕК ИЗ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ ДЛЯ ОПТОЭЛЕКТРОНИКИ

Автор(и)

  • Юрий Данилович Филатов Институт сверхтвердых материалов им. В.Н. Бакуля НАН Украины
  • Владимир Игоревич Сидорко Институт сверхтвердых материалов им. В.Н. Бакуля НАН Украины
  • Александр Юрьевич Филатов Институт сверхтвердых материалов им. В.Н. Бакуля НАН Украины
  • Сергей Викторович Ковалев Институт сверхтвердых материалов им. В.Н. Бакуля НАН Украины
  • Анатолий Григорьевич Ветров Институт сверхтвердых материалов им. В.Н. Бакуля НАН Украины
  • Ярослав Леонидович Сильченко Институт сверхтвердых материалов им. В.Н. Бакуля НАН Украины
  • Виктор Андреевич Ковалев Институт сверхтвердых материалов им. В.Н. Бакуля НАН Украины
  • Мария Андреевна Данильченко Институт сверхтвердых материалов им. В.Н. Бакуля НАН Украины

Ключові слова:

полирование, шероховатость, монокристалл, карбид кремния, сапфир

Анотація

Приведены результаты исследования закономерностей полирования плоских поверхностей оптико-электронных элементов из монокристаллических карбида кремния и сапфира и показано, что в качестве критерия эффективности полирования целесообразно использовать коэффициенты шероховатости, определяющие минимально допустимые значения высотных параметров.

Посилання

New technology of precision polishing of glass optic / V.V. Rogov, Y.D. Filatov, W.Kottler, V.P. Sobol // Optical Engineering. – Vol. 40, august 2001. – Рp. 1641–1645.

Поперенко Л.В. Технологія обробки оптичних поверхонь : навч. посібник / Л.В. Поперенко, Ю.Д. Філатов. – К. : Вид.-поліграф. центр «Київський університет», 2004. – 166 с.

Bound-abrasive grinding and polishing of surfaces of optical materials / Y.D. Filatov, O.Y. Filatov, G.Monteil et al. // Optical Engineering. – 2011.

Філатов Ю.Д. Моделювання процесів механічноїї обробки матеріалів : навч. посіб. / Ю.Д. Філатов. – К. : НТУУ «КПИ», 2012. – 176 с.

Properties of Silicon Carbide edited by Gary Lynn Harris // INSPEC, Institution of Electrical Engineers. – London, United Kingdom, 1995. – 289 p.

Закономерности финишной алмазно-абразивной обработки монокристаллического карбида кремния / Ю.Д. Филатов, А.Г. Ветров, В.И. Сидорко и др. // Сверхтвердые материалы. – 2013. – № 5. – С. 63–71.

Полирование элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния / Ю.Д. Филатов, А.Г. Ветров, В.И. Сидорко и др. // Сверхтв. материалы. – 2015. – № 1. – С. 63–71.

Filatov Yu.D. Mechanism of formation of surface microrelief in machining glass / Yu.D. Filatov // J. Superhard Mater. – 1991. – 13(5). – Pр. 63–67.

Филатов Ю.Д. Шероховатость поверхности при обработке стекла / Ю.Д. Филатов, В.В. Рогов, К.С. Громов // Сверхтвердые материалы. – 1993. – № 4. – С. 42–46.

Chemical mechanical polishing (CMP) anisotropy in sapphire / Н.Zhu, L.A. Tessaroto, R.Sabia at oll. // Applied Surface Science. – 2004. – Vol. 236. – Issue 1–4. – Pp. 120–130.

##submission.downloads##

Опубліковано

2016-03-03