ПОЛИРОВАНИЕ ЭЛЕМЕНТОВ И ПОДЛОЖЕК ИЗ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ ДЛЯ ОПТОЭЛЕКТРОНИКИ

Автор(и)

  • Юрий Данилович Филатов Институт сверхтвердых материалов им. В.Н. Бакуля НАН Украины, Україна
  • Владимир Игоревич Сидорко Институт сверхтвердых материалов им. В.Н. Бакуля НАН Украины, Україна
  • Александр Юрьевич Филатов Институт сверхтвердых материалов им. В.Н. Бакуля НАН Украины, Україна
  • Сергей Викторович Ковалев Институт сверхтвердых материалов им. В.Н. Бакуля НАН Украины, Україна
  • Анатолий Григорьевич Ветров Институт сверхтвердых материалов им. В.Н. Бакуля НАН Украины, Україна
  • Ярослав Леонидович Сильченко Институт сверхтвердых материалов им. В.Н. Бакуля НАН Украины, Україна
  • Виктор Андреевич Ковалев Институт сверхтвердых материалов им. В.Н. Бакуля НАН Украины, Україна
  • Мария Андреевна Данильченко Институт сверхтвердых материалов им. В.Н. Бакуля НАН Украины, Україна

Ключові слова:

полирование, шероховатость, монокристалл, карбид кремния, сапфир

Анотація

Приведены результаты исследования закономерностей полирования плоских поверхностей оптико-электронных элементов из монокристаллических карбида кремния и сапфира и показано, что в качестве критерия эффективности полирования целесообразно использовать коэффициенты шероховатости, определяющие минимально допустимые значения высотных параметров.

Посилання

New technology of precision polishing of glass optic / V.V. Rogov, Y.D. Filatov, W.Kottler, V.P. Sobol // Optical Engineering. – Vol. 40, august 2001. – Рp. 1641–1645.

Поперенко Л.В. Технологія обробки оптичних поверхонь : навч. посібник / Л.В. Поперенко, Ю.Д. Філатов. – К. : Вид.-поліграф. центр «Київський університет», 2004. – 166 с.

Bound-abrasive grinding and polishing of surfaces of optical materials / Y.D. Filatov, O.Y. Filatov, G.Monteil et al. // Optical Engineering. – 2011.

Філатов Ю.Д. Моделювання процесів механічноїї обробки матеріалів : навч. посіб. / Ю.Д. Філатов. – К. : НТУУ «КПИ», 2012. – 176 с.

Properties of Silicon Carbide edited by Gary Lynn Harris // INSPEC, Institution of Electrical Engineers. – London, United Kingdom, 1995. – 289 p.

Закономерности финишной алмазно-абразивной обработки монокристаллического карбида кремния / Ю.Д. Филатов, А.Г. Ветров, В.И. Сидорко и др. // Сверхтвердые материалы. – 2013. – № 5. – С. 63–71.

Полирование элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния / Ю.Д. Филатов, А.Г. Ветров, В.И. Сидорко и др. // Сверхтв. материалы. – 2015. – № 1. – С. 63–71.

Filatov Yu.D. Mechanism of formation of surface microrelief in machining glass / Yu.D. Filatov // J. Superhard Mater. – 1991. – 13(5). – Pр. 63–67.

Филатов Ю.Д. Шероховатость поверхности при обработке стекла / Ю.Д. Филатов, В.В. Рогов, К.С. Громов // Сверхтвердые материалы. – 1993. – № 4. – С. 42–46.

Chemical mechanical polishing (CMP) anisotropy in sapphire / Н.Zhu, L.A. Tessaroto, R.Sabia at oll. // Applied Surface Science. – 2004. – Vol. 236. – Issue 1–4. – Pp. 120–130.

##submission.downloads##

Опубліковано

2016-03-03

Номер

№ 15 (2015): Процеси механічної обробки в машинобудуванні

Розділ

Статті

Ліцензія

Автор, який подає матеріали до друку, зберігає за собою всі авторські права та надає відповідному виданню право першої публікації, дозволяючи розповсюджувати даний матеріал із зазначенням авторства та джерела первинної публікації, а також погоджується на розміщення її електронної версії на сайті Національної бібліотеки ім. В.І. Вернадського та у відкритому доступі в електронному архіві університету http://eztuir.ztu.edu.ua/ .

Автор надає право редакційній колегії на рецензування та відхилення поданих для опублікування матеріалів.