ТЕХНОЛОГІЧНІ УМОВИ І ПОКАЗНИКИ ЕФЕКТИВНОСТІ СПЕЦІАЛЬНОЇ ЕЛЕКТРОННО-ПРОМЕНЕВОЇ ОБРОБКИ ПОВЕРХНІ ОПТИЧНОГО СКЛА
Ключові слова:
оптичне виробництво, оптичне скло, електронно-променева обробка, дефектний шар, шорсткість поверхні, метрологічне забезпечення, ефективність обробкиАнотація
Представлено технічні і технологічні умови електронно-променевої обробки поверхні скла та запропоновано показники ефективності при її впровадженні у промислову сферу. Запропонована програма метрологічного забезпечення якісних характеристик модифікованої електронним потоком поверхні оптичного скла
Посилання
Канашевич Г.В. Термічна електронно-променева обробка скляних плат оптичних інтегральних схем : монографія / Г.В. Канашевич. – Черкаси : НИИТЭХІМ, 2002. – 168 с.
Применение метода атомно-силовой микроскопии, как составляющей комплексной методики измерения параметров качества оптических изделий, обработанных низкоэнергетическим электронным потоком / М.П. Рудь, В.П. Бойко, Г.В. Канашевич и др. // Сб. докладов IX Междунар. конф. «Методологические аспекты сканирующей зондовой микроскопии» (Минск, окт., 2010 г.). – Минск, 2010. – С. 220–223.
Kanashevich G.V. Cooling of plates from optical glass after electronic micro-treatment / G.V. Kanashevich // Электронная обработка материалов (Кишинеу). – 2005. – № 4 (234). – С. 79–83.
Kanashevich G.V. Micro-treatment of surfaces of plates made of optical glass with a low-power electronic stream of a band form. The 7th World Congress on Recovery, Recycling and Reintegration & China International 3R Exhibition, Beijing, China, 25–29 Sept. 2005. – P. 7.
Канашевич Г.В. Превращения в поверхностном слое оптического стекла и фотопластин из силикатного стекла от действия низкоэнергетического электронного потока / Г.В. Канашевич // Ежемесячный междисциплинарный теоретический и прикладной научно-технический журнал «Нано- и микросистемная техника» (Россия) // Материаловедческие и технологические основы МНСТ. – 2008. – № 10. – С. 28–30.
Закон України “Про метрологію та метрологічну діяльність” від 11.02.1998 № 113/98-ВР (У редакції Закону України від 15.06.2004 № 1765 IV).
ДСТУ 3815–98 (ISO 10005:1995(E)). Управління якістю. Настанови щодо програм якості.
ДСТУ ISO 10012:2005 (ISO 10012:2003, IDT) Системи керування вимірюванням. Вимоги до процесів вимірювання та вимірювального обладнання.
Рейх Н.Н. Метрологическое обеспечение производства : учебн. пособие / Н.Н. Рейх, А.А. Тупиченков, В.Г. Цейтлин ; под ред. к.т.н. Л.К. Исаева. – М. : Изд-во стандартов, 1987. – 248 с.
Ткачик О. Метрологічна експертиза науково-технічної документації. Сучасні підходи та досвід / О.Ткачик, В.Барахтян // Метрологія та прилади. – 2006. – № 1. – С. 33–37.
ISO 9211:1994. Optic sandoptical instruments – Optical coatings (Оптика та оптичні прилади. Оптичні покриття).
ДСТУ ISO 10110:2004 (ISO 10110:1996, IDT). Оптика та оптичні прилади Готування креслеників оптичних елементів та систем.
ГОСТ 8.296–78. Государственный специальный эталон и общесоюзная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax и Rz в диапазоне 0,025÷1600 мкм.
ГОСТ 2789–73. Шероховатость поверхности. Параметры и характеристики.
ГОСТ 3519–91. Материалы оптические. Методы определения двулучепреломления.
ГОСТ 3520–92. Материалы оптические. Методы определения показателей ослабления.
ГОСТ 3521–81. Стекло оптическое. Метод определения бессвильности.
ГОСТ 3522–81. Материалы оптические. Метод определения пузырности.
ГОСТ 11141–84. Детали оптические. Классы чистоты поверхности. Методы контроля.
ГОСТ 26302–93. Стекло. Методы определения коэффи¬циентов направленного пропускания и отражения света.
ГОСТ 28869–90. Материалы оптические. Методы измерений показателя преломления.
Атомно-силовой микроскоп NT-206: Новые возможности / А.А. Суслов, В.В. Чикунов, Д.И. Шашолко и др. // Методологические аспекты сканирующей зондовой микроскопии : сб. докладов VI Междунар. семинар. (Минск, 12–15 окт. 2004 г.). – Минск : Ин-т тепло- и массообмена им. А.В. Лыкова НАН Беларуси, 2004. – С. 123–130.
Канашевич Г.В. Применение АСМ в исследовании поверхностей и функциональных слоев в оптических материалах, полученных методом электронной микрообработки / В.Г. Канашевич // Сб. докладов
-го Белорусского семинара по сканирующей зондовой микроскопии ”БелСЗМ-6” (Минск, 12–15 окт. 2004 г.). – Минск, 2004. – С. 42–44.
Ковшов С.Б. Проблемы метрологического обеспечения сканирующей зондовой микроскопии в нанотехнологиях / С.Б. Ковшов, В.С. Купко, И.В. Лукин // Український метрологічний журнал. – 2005. – № 2. – С. 35–41.
Тодуа П.А. Метрология в нанотехнологии / П.А. Тодуа // Российские нанотехнологии. – 2007. – № 1–2. – Т. 2. – С. 61–69.
Перелік державних еталонів, створених в Україні, і нормативних документів на державні повірочні схеми станом на 01.01.2006 // Зб. нормативно-правових актів України та організ.-метод. документів з питань метрології / Держ. ком. України з питань техн. регулювання та спожив. політики. – К. : ТОВ “Авега”. – Вип. 6 /Уклад. : Р.Домницький та ін. – 2006. – 350 c. – Дод. (58 с.)
##submission.downloads##
Опубліковано
Номер
Розділ
Ліцензія
Автор, який подає матеріали до друку, зберігає за собою всі авторські права та надає відповідному виданню право першої публікації, дозволяючи розповсюджувати даний матеріал із зазначенням авторства та джерела первинної публікації, а також погоджується на розміщення її електронної версії на сайті Національної бібліотеки ім. В.І. Вернадського та у відкритому доступі в електронному архіві університету http://eztuir.ztu.edu.ua/ .
Автор надає право редакційній колегії на рецензування та відхилення поданих для опублікування матеріалів.
